公益財団法人 電磁材料研究所が次世代磁気デバイス研究開発用途に EVGのマスクアライメント装置を導入

MEMS 、ナノテクノロジーや半導体分野でウェーハ接合装置やリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーである EV Group （ EVG ）はイーヴィグループジャパン株式会社 ( 本社：神奈川県横浜市、代表取締役：山本宏 ) が、公益財団法人電磁材料研究所が同社の半自動マスクアライメント装置 EVG®620NT を導入したことを発表しました。

電磁材料研究所は、電磁に関連する機能材料およびデバイスの研究開発とその実用化を図ることを目的として設立され、さまざまな特殊合金材料の発明と産業への実用化により、学術や科学技術だけでなく社会の発展と幸福に貢献してきました。また平成期に入ってからは、バルク機能材料の他に薄膜機能材料およびそれらを用いたデバイスを新たな研究分野として加え、「小さな機能材料やデバイスから豊かな社会を！」をキャッチフレーズに研究開発を進めています。

2018 年 1 月、同研究所は仙台市八木山から富谷市成田への全面移転を機に研究棟・試作開発棟を一新し、さらにクリーンルーム棟を新設いたしました。ここで上記薄膜機能材料を応用した新規デバイス開発を行うため、 EV Group の EVG®620NT を導入しました。本装置はサブミクロンまでの微細パターンを実現する優れた解像性と露光均一性、量産で実績のある上面および下面精密アライメントといった基本性能に加え、研究開発用途として小形・異形基板へも柔軟に対応いたします。さらにオプションを加えることで、ボンドアライメントやナノインプリントといった用途向けにも将来的にアップグレード可能で、複数の研究プロジェクトやアプリケーションへ長期にわたり有効活用することができます。

電磁材料研究所 研究開発事業部　次世代デバイス開発部門の早坂主席研究員は今回の EV Group のマスクアライメント装置導入についてこう述べています。 「本研究所では、新規機能性材料の創生とそれを応用した高性能かつ超小型の各種センサ素子の研究開発、さらにそれらを活用した電子・情報系応用システムの研究開発を行っています。また、外部の学術機関や民間企業との共同研究および試作開発研究を通して、研究成果の実用化を推進しています。 実証段階における試作開発研究では、デバイス性能だけではなく製造歩留まりやプロセスの安定性についても考慮する必要があります。ここでは、微細パターンを面内均一に再現性良く作製できる露光装置は特に重要となります。 EV Group のマスクアライメント装置はこうした要求項目に対し優れた性能を発揮 することから、導入を決定しました。この装置によって、次世代デバイスの研究開発が今後加速されることを期待しています」

この発表に際し、イーヴィグループジャパン株式会社代表取締役の山本宏は次のように述べています。「『鉄鋼の父』として知られる本多光太郎博士が初代理事長を務められ、数々の特殊合金材料を世に生み出してきた由緒ある電磁材料研究所に、この度弊社装置が採用されたことは大変光栄なことであり嬉しく存じます。同研究所は公益法人として、研究開発だけでなく実用に向けた実証実験までも行い、社会に貢献することを事業の目標に掲げています。これは EV Group の企業理念である Triple-i （ invent-innovate-implement ）と通じるものであり、弊社が各分野の最先端で活躍する大学や研究機関と共に歩んできた理由でもあります。同研究所で発明された新機能材料やそれを応用したデバイスが革新的な製品を生み出し、豊かな未来社会が実現されるよう、今後もあらゆる技術支援を続けてまいります」

イーヴィグループジャパンは、 2018 年 12 月 12 日から 14 日にかけて、東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan に企業ブースを出展いたします。ここでご紹介した EVG のマスクアライメント装置をはじめ、リソグラフィソリューション、ならびにウェーハ接合に関してのパネルおよびサンプル展示をいたします。是非当社のブース（ #5137 ）へお越しください。

< 公益財団法人電磁材料研究所について>
本法人は特殊合金の工業化研究を目的とし、昭和 19 年に文部省所管の「財団法人航空計器材料試作研究所」として発足しました。戦後は「財団法人電気磁気材料研究所」と改名し、電気磁気材料に関する調査研究を目的として、精密機器用および電気磁気機器用金属材料の研究開発を実施し、多くの優れた材料を実社会に送り出してきました。平成 23 年７月、研究開発事業の内容および成果などを社会一般の研究者、技術者、企業家等に広く公開し提供することを基本方針とする公益財団法人として内閣府の認定を受け、名称を「公益財団法人電磁材料研究所」に改め、新たにスタートしました。本研究所は、「国民生活の安定と向上および経済の健全な発展に資することを最終目標とし、電磁に関連する機能材料およびデバイスの研究開発を行うと共にその実用化を図り、学術および科学技術並びに産業の振興を通じて次世代社会の発展と幸福に資すること」を設置の目的としています。

<EV Group について >
EV Group （ EVG ）は半導体、 MEMS 、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品は、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ / ナノインプリントリソグラフィー（ NIL ）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。 1980 年に設立された EVG は、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。
EVG に関する詳しい情報は www.EVGroup.com をご参照ください。

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