NEUES KOOPE­RA­TIVES PROJEKT MUSIC: WETT­BE­WERBS­FÄ­HIGE LÖSUNGEN FÜR MIKRO­AKUS­TI­SCHE GERÄTE

Im koope­ra­tiven Projekt MUSIC arbeitet Silicon Austria Labs (SAL) gemeinsam mit vier Indus­trie­part­nern an der Entwick­lung von inno­va­tiven, wett­be­werbs­fä­higen Lösungen für Mikro­laut­spre­cher, die auf MEMS-Tech­no­logie und piezo­elek­tri­sche

Bei SAL wurde ein neues Forschungs­pro­jekt mit dem Ziel gestartet, die Entwick­lung mikro­akus­ti­scher MEMS-Geräte voran­zu­treiben. Das Projekt spie­gelt die laufenden Bemü­hungen um tech­no­lo­gi­sche Fort­schritte wider und ist für drei­ein­halb Jahre ange­setzt. Während dieser Zeit zielt das Projekt­team darauf ab, neuar­tige piezo­elek­tri­sche Dünn­schicht­kon­fi­gu­ra­tionen zu entwi­ckeln, den aktu­ellen Stand der Technik im Bereich der Halb­lei­ter­fer­ti­gungs­tech­no­logie zu verbes­sern und eine neue Gene­ra­tion von mikro­akus­ti­schen MEMS-Geräten zu entwerfen. Der Fokus liegt auf der Entwick­lung neuer tech­ni­scher Lösungen für MEMS-Mikro­laut­spre­cher mit verschie­denen poten­zi­ellen Anwen­dungs­mög­lich­keiten von Kopf­hö­rern bis zu smarten Brillen.

Das Projekt MUSIC wird von Senior Scien­tist Anna­lisa De Pastina vom Forschungs­be­reich Piezo­electric Micro­system Tech­no­lo­gies bei SAL geleitet. Anna­lisa ist für die Entwick­lung von MEMS mit inte­grierter piezo­elek­tri­scher Wand­lung mit beson­derem Fokus auf Mikro­tech­no­lo­gien und Design verant­wort­lich.

Mohssen Moridi, Leiter des Forschungs­be­reichs Micro­sys­tems bei SAL berichtet über das Projekt: „Wir freuen uns, gemeinsam mit inter­na­tional renom­mierten Indus­trie­part­nern an der Entwick­lung von neuen tech­ni­schen Lösungen für piezo­elek­tri­sche MEMS-Mikro­laut­spre­cher arbeiten zu können. Der Ergeb­nisse dieser frucht­baren Zusam­men­ar­beit werden einen posi­tiven Einfluss auf MEMS und die Inte­gra­tion fort­schritt­li­cher piezo­elek­tri­scher Dünn­schicht­tech­no­lo­gien haben und zu einer Viel­zahl neuer Anwen­dungen führen.“

PROJEKT­KON­SOR­TIUM: SAL TRIFFT AUF DIE INDUS­TRIE

Bei SAL sind die beiden Forschungs­ein­heiten Piezo­electric Micro­system Tech­no­lo­gies und Thin Film Tech­no­lo­gies am Projekt betei­ligt. Neben SAL besteht das Konsor­tium aus den vier renom­mierten Indus­trie­part­nern STMi­cro­elec­tro­nics, USound, EV Group und Evatec.

STMi­cro­elec­tro­nics (NYSE: STM) ist ein welt­weit führendes Halb­lei­ter­un­ter­nehmen, das Kunden aus allen Berei­chen elek­tro­ni­scher Anwen­dungen bedient.

USound ist ein schnell wach­sendes Unter­nehmen, das fort­ge­schrit­tene MEMS-Laut­spre­cher für eine breite Palette an Audio­ge­räten entwi­ckelt – von Audio­brillen über True Wire­less (TWS) Kopf­hö­rern bis hin zu rezept­freien Hörge­räten. USound’s CTO Andrea Rusconi Clerici sieht der Zusam­men­ar­beit positiv entgegen: „USound freut sich, Teil dieses inter­na­tio­nalen, inno­va­tiven Projekts zu sein, das MEMS-basierte Aktua­tor­lö­sungen der nächsten Gene­ra­tion ermög­licht.“

EV Group ist ein führender Anbieter von Wafer-Bonding- und Litho­grafie-Anlagen für den MEMS-, Nano­tech­no­logie- und Halb­lei­ter­markt. „Die Inte­gra­tion verschie­dener Mate­ria­lien in MEMS-Geräten stellt hohe Anfor­de­rungen an die Ferti­gungs­tech­no­lo­gien. Wir werden unser Fach­wissen im Bereich des Wafer-Level-Bonding nutzen, um einen neuen Inte­gra­ti­ons­pro­zess zu entwi­ckeln, der die Leis­tung von Laut­spre­chern der nächsten Gene­ra­tion opti­mieren soll“, erklärt Bernd Diel­acher, Busi­ness Deve­lop­ment Manager der EV Group.

Evatec ist ein führender und kompletter Anbieter von Dünn­schicht-Produk­ti­ons­lö­sungen in den Kern­märkten Advanced Packa­ging, Leis­tungs­ge­räte, MEMS, Opto­elek­tronik, Draht­lose Kommu­ni­ka­tion und Photonik. Dino Faralli, Product Marke­ting Manager über die Betei­li­gung von Evatec am Projekt: „Evatec ist Experte im Bereich der Abschei­dung von Dünn­schicht-Piezo­ma­te­ria­lien wie AIScN und PZT. Wir sind bereit, das Projekt mit der Entwick­lung eines ‚produk­ti­ons­reifen‘ Abschei­dungs­pro­zesses für die nächste Gene­ra­tion von Dünn­schicht-Mikro­laut­spre­chern zu unter­stützen. Unsere Arbeit wird sich haupt­säch­lich auf die Opti­mie­rung der Eigen­span­nung für den Pt/​AIScN-Schicht­stapel konzen­trieren.“

ÜBER SILICON AUSTRIA LABS (SAL)

Die Silicon Austria Labs GmbH (SAL) wurde 2018 als bundes­län­der­über­grei­fendes, außer­uni­ver­si­täres Spit­zen­for­schungs­zen­trum im Bereich der elek­tro­nik­ba­sierten Systeme gegründet. An den Stand­orten Graz, Villach und Linz wird an Schlüs­sel­tech­no­lo­gien in den Berei­chen Micro­sys­tems, Sensor Systems, Power Elec­tro­nics, Intel­li­gent Wire­less Systems und Embedded Systems geforscht. SAL bringt dabei wesent­liche Akteure aus Indus­trie und Wissen­schaft und damit wert­volle Exper­tise und Know-how zusammen und betreibt koope­ra­tive, anwen­dungs­ori­en­tierte Forschung entlang der Wert­schöp­fungs­kette. Ziel ist es, den Wert­schöp­fungs­pro­zess von der Idee zur Inno­va­tion zu beschleu­nigen – mit exzel­lenter Forschung und wirt­schaft­li­chem Nutzen. Eigen­tü­me­rinnen sind die Repu­blik (50,1%), die Länder Stei­er­mark und Kärnten (je 10%), das Land Ober­ös­ter­reich (4,95%) und der Fach­ver­band für Elektro- und Elek­tro­nik­in­dus­trie (24,95%).

Silicon Austria Labs Contact:

Isabella Preuer
Head of Communications & PR     
Silicon Austria Labs          
Tel: +43 664 832 97 73    
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