EV Group、ITRIと異種材料統合プロセス開発において協力関係を強化

ITRI Headquarters, Chutung, Hsinchu County, Taiwan

The LITHOSCALE® maskless exposure lithography system from EV Group is one of several tools providing revolutionary process solutions to the Chip-let System Package Alliance (Hi-CHIP) led by ITRI.

オーストリア ザンクト・フローリアン、2022年8月31日— MEMS、ナノテクノロジーデバイス、半導体製造向けウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（以下、EVG）は本日、工業技術研究院（ITRI）との協力関係を強化したことを発表しました。ITRIは台湾・新竹に拠点を置く世界有数の応用技術研究機関の1つであり、高度な異種材料統合プロセスの開発に取り組んでいます。

ITRIは、台湾の産業技術省（DoIT）と経済部（MOEA）の支援を受けて、パッケージ設計、テスト、検証、そしてパイロット生産を網羅する完全なエコシステムを構築するための異種材料統合チップレットシステムパッケージアライアンス（Hi-CHIP）を設立しました。これにより、サプライチェーンの現地化とビジネスチャンスの拡大を目指します。Hi-CHIP アライアンスのメンバーとしてEVGは、EVGのLITHOSCALE^®マスクレス露光リソグラフィシステム、EVG^®850DB自動剥離装置、そしてGEMINI^®FBハイブリッド接合装置など、複数台のEVG最先端ウェーハ接合装置およびリソグラフィ装置を提供しました。ITRIの最先端施設にこれらの量産向けプラットフォームを設置することにより、EVGとITRIの共通の顧客が、新しい異種材料統合プロセスの開発を加速させ、研究開発から顧客の生産工場へのスムーズな移行を可能にします。

半導体製造において、トランジスタのスケーリングを超えた高性能化のための3D垂直積層や異種材料統合（複数の異なるコンポーネントやダイを1つのデバイスまたはパッケージに製造、組み立て、パッケージングすること）は、ますます重要な技術となっています。高度なパッケージングでの高帯域幅相互接続を実現し、システム全体の性能向上が可能となる3Dやヘテロ集積化技術は、人工知能（AI）、自動運転、その他の高性能コンピューティングアプリケーション発展を飛躍的に後押しします。このような利点を受け、（台湾）外務省は、「AIチップ異種材料統合モジュール高度製造プラットフォーム」や「プログラマブル異種材料3次元集積」などの全国規模の研究開発プロジェクトにおいてのリソース支援を積極的に行っています。

ITRI のElectronic and Optoelectronic System Research Laboratoriesの副所長であるRobert（Wei-Chung）Lo博士は、以下のように述べています。「ITRIは、技術研究開発を通じて産業の発展、経済的価値の創出、社会福祉の向上、といったITRIのミッションの一環として、半導体産業の継続的な発展と成長を可能にするために、新しい3Dおよび異種チップ統合プロセスの開発と、継続的な開発を可能にするサプライチェーン全体での緊密な協力の構築に重点を置いています。EVGの斬新なウェーハ接合技術およびリソグラフィソリューションなど、お客様が工場で使用している装置と同様の完全自動型量産システムをITRIの研究施設に設置することで、お客様はITRIで開発されたプロセスレシピをラボから自社製造工場に即座に移管することができます。」

EV Groupのエグゼクティブセールス兼カスタマーサポートディレクター、および執行役員メンバーであるハーマン・ヴァルトルは、次のように述べています。「ITRIのような世界をリードする研究機関と連携して、半導体業界の将来のイノベーションを推進する新技術の開発と商業化を加速することに焦点を当てることは、EVGの“発明 – 革新 - 実現（Invent-innovate-implement）というTriple-i（トリプルアイ）哲学の神髄です。」「EVGはこれまでも台湾のお客様やパートナーからのニーズの高まりや直面する課題に対して、長年にわたって応えてきましたが、ITRIとの継続的な協力関係により、世界クラスの研究専門知識へのアクセスが可能になり、台湾でのプロセスサポート基盤がさらに強化されることになります。オーストリア本社にあるヘテロジニアス・インテグレーション・コンピテンスセンターで提供されるサービスに加え、台湾の複数の場所に拠点を置く当社の卓越したプロセスおよびアプリケーションエンジニアリングチームにより、さらに万全のサポート体制を築きます。」

About ITRI

Industrial Technology Research Institute (ITRI) is one of the world’s leading technology R&D institutions aiming to innovate a better future for society. Founded in 1973, ITRI has played a vital role in transforming Taiwan’s industries from labor-intensive into innovation-driven. To address market needs and global trends, it has launched its 2030 Technology Strategy & Roadmap and focuses on innovation development in Smart Living, Quality Health, and Sustainable Environment. It also strives to strengthen Intelligentization Enabling Technology to support diversified applications.

Over the years, ITRI has been dedicated to incubating startups and spinoffs, including well-known names such as UMC and TSMC. In addition to its headquarters in Taiwan, ITRI has branch offices in the U.S., Europe, and Japan in an effort to extend its R&D scope and promote international cooperation across the globe. For more information, please visit https://www.itri.org.tw/english/.

EV GROUP（EVG）について

EV Group（EVG）は半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品には、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ/ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。1980年に設立されたEVGは、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。 EVGに関する詳しい情報はhttps://www.evgroup.com/ja/をご参照ください。