EV Group、オーストリア本社に最新鋭のクリーンルーム施設を設立

新棟クリーンルームV開設により、 NILPhotonics^®とヘテロジニアス・インテグレーション・コンピテンスセンター^TMのキャパシティーおよび機能を従来の2倍に拡大強化

最先端技術を駆使した新設クリーンルームV（第5クリーンルーム）は、専用のプロセス共同開発エリアを含め、完工間近。2020年8月に正式に開所予定。

EVG本社に新設されたクリーンルームVにより、キャパシティーは従来のおよそ2倍に拡大。モダンなトレーニングセンターにはお客様専用エリアやフィールドサービスエンジニア向けのエリア等、多様な設備を完備。

EVGクリーンルームVを上空から撮影。
世界クラスのクリーンルーム設備は、未来のアプリケーションや技術をお客様と共に開発するEVGの能力を大幅に強化。

EVGクリーンルームVの舞台裏。最新型サブファブは、最大の稼働率を確保するための予備システムと新規安全機能を備えた設計。

オーストリアザンクト・フローリアン、2020年7月20日　―　MEMS、ナノテクノロジーデバイス、半導体製造向けウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（EVG）は、本社機能を置くオーストリアに新設のクリーンルームV（第5クリーンルーム）を竣工したことを本日発表しました。

最新のクリーンルームデザインと建築技術を駆使したこの新棟は、従来のクリーンルームキャパシティーを約2倍に拡大し、お客様の製品やプロセスの開発・EVG装置のデモンストレーション・試作やパイロットライン生産などのサービスを行うために使用されます。2019年にプレス発表されたように、3000万ユーロの投資の一部を充てて建設されたこのクリーンルームVは8月に正式に開所されます。

クリーンルームVはEVGの既存クリーンルーム・アプリケーションラボと直結し、およそ620m²の広さを誇るクラス10のクリーンルームです。さらにこの新棟にはモダンなトレーニングセンターが併設され、お客様やフィールドサービスエンジニアがEVG装置のプラットフォームについて学ぶことが出来る場所となっています。また今回の拡張計画に伴い、従来のクリーンルームとアプリケーションラボ施設もアップグレードされ、使用可能な装置台数の拡充と安全性を確保するための新規設備が設置されました。

EVGの卓越した技術センターを強化

新設されたクリーンルームVは、世界クラスのプロセス開発サービスを提供するNILPhotonics^®コンピテンスセンターやヘテロジニアス・インテグレーション・コンピテンスセンター^TMの機能を強化し、マイクロエレクトロニクス・サプライチェーンに関わる全てのお客様やパートナー企業様向けにオープンアクセスなイノベーション・インキュベーターを提供します。これらの卓越した技術センターを活用いただくことで、ナノインプリントリソグラフィとヘテロ集積化を用いた技術開発を加速し、最小限のリスクでお客様が技術や製品の差別化を図ることをお手伝いするとともに、商品化前の製品開発に必要な知的財産権の保護を最高水準で保証いたします。

EVGの知的財産・技術開発本部のディレクターを務めるMarkus Wimplingerは、以下のように述べています。「この新しいクリーンルームに導入された技術革新とノウハウを、とても誇らしく思います。細部に至るまで、まさに世界クラスの最先端設備であり、おそらくヨーロッパで最も技術的に先端を行くクリーンルームの一つです。」

「今回新設したこの施設によって、未来のアプリケーションや技術をお客様と共に開発する当社の能力をさらに大幅に強化することができました。特に、活発な活動と需要が見込まれている２つのコンピテンスセンターでその効果が発揮されることを期待しています。NILPhotonics^®コンピテンスセンターやヘテロジニアス・インテグレーション・コンピテンスセンター^TMで提供する独自のサービスにより、EVGはお客様やパートナー企業様の開発のサイクルを短縮し、これらの重要なアプリケーション分野で新しい製品作りのサポートを行っていきます。」

これらのテクノロジー・コンピテンスセンターと、お客様との強固なパートナーシップにより、EVGは独自のプロセス開発サービスとサポートのワンストップソリューションを実現可能にしています。また同時に、各地のインスタレーション・サポートチームおよびリモートサービスによって、EVGは装置の継続的なインストールとサービスの提供を行っています。EVGのサービスに関する詳しい情報はこちらをご覧ください：https://www.evgroup.com/ja/services/

NILPhotonics^®コンピテンスセンターとヘテロジニアス・インテグレーション・コンピテンスセンター^TMについての詳しい情報はこちら：https://www.evgroup.com/ja/products/process-services/

EVGは、2020年7月20～23日に開催されるSEMICON Westで、ウェーハ接合、リソグラフィー、レジスト処理に関するソリューションをバーチャルブースにてご紹介します。EVG担当者とのライブチャットや製品の最新情報がダウンロード可能なEVGバーチャルブースへ是非お越しください。

EV GROUP（EVG）について

EV　Group（EVG）は半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品には、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ/ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。1980年に設立されたEVGは、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。 EVGに関する詳しい情報はwww.EVGroup.comをご参照ください。