EV GroupとDELOが提携を発表 ウェーハレベル・オプティクスおよびナノインプリント・リソグラフィ分野で材料・プロセス性能を拡張

ウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（本社: オーストリア ザンクト・フローリアン、以下: EVG）は、本日、工業用高機能接着剤のリーディングメーカーであるDELOと、ウェーハレベル・オプティクス（WLO）分野で提携していくことを発表しました。両社は光学センサーの製造において主導的な役割を果たしていることで知られおり、EVGのレンズ成形およびナノインプリント・リソグラフィ（NIL）装置とDELOの最先端接着剤およびレジスト材料を組み合わせることで、生体認証や顔認証、車載、家電市場向けの新たな光学デバイスおよびアプリケーションの開発が可能となります。

EVGのNILPhotonics®コンピテンスセンター（オーストリア、ザンクト・フローリアン）とDELO本社（ドイツ、ウィンダッハ）で行われているパートナーシップは、材料開発サイクルの改善および短縮に貢献します。 EVGのNILPhotonics®コンピテンスセンターは、NILサプライチェーンのお客様およびパートナー企業様にオープンアクセスイノベーションの場を提供し、革新的デバイス、アプリケーションの開発サイクル短縮や迅速な市場投入に向けた協業を実現します。 最先端のクリーンルームに、ステップアンドリピートマスター製造、レンズ成形、EVGの独自技術であるSmartNIL®等の主要なNILプロセス装置、さらにウェーハ接合装置、計測装置を有し、WLOの開発、製品試作、製造のための最新技術および材料を活用できる比類ない環境を提供しています。

11月12〜15日にドイツのミュンヘンで開催されるSEMICON Europaに弊社の執行役員が参加いたします。この最新の共同開発について、是非お問い合わせください

ウェーハレベル・オプティクス導入を促進するサプライチェーン・コラボレーション

高機能接着剤およびレジストは、量産向け次世代光学センサーのウェーハレベル製造を実現する上で極めて重要な役割を果たします。 高機能光学材料の開発には、化学的、機械的、光学的といった広範な特性評価と、量産（HVM）対応可能な拡張性が要求されます。現場で実証済みの量産プロセスを用い、最小のフォームファクターで最適なWLOパフォーマンスを実現するためには、自動レンズ成型および離形プロセスをサポートする材料に関する知見が求められ、またワーキングスタンプとレジストの優れた材料適合性も重要となります。

材料サプライヤーとプロセス装置メーカーの緊密な連携は、高品質製品向けWLOにおいて、高い信頼性と生産性を確保するために必要となるプロセスの開発および改良を実現する鍵となります。EVGとDELOのこの提携は、プロセスおよび製品の改良を推し進めるとともに、現在および将来の市場の要件に対応するための専門知識の強化ももたらします。またこのパートナーシップは、両社のお客様のロードマップをサポートし、新製品の開発と試作を加速するために最適な材料とプロセスノウハウを提供します。

「NILPhotonics®コンピテンスセンターは、最高の機密性を維持しながら、短い市場投入時間で製品を開発するための新たな手法を求める業界のニーズに、この上ない形で対応いたします。」EV Groupの知的財産・技術開発本部のディレクターを務めるMarkus Wimplinger氏はこう述べています。 「DELOのようなサプライチェーンで主要な役割を果たす企業とパートナーシップを結ぶことにより、私たちはこの施設を、プロセスおよび装置の専門家と密接に連携し、新たな製造ライン向けの製造工程を開発および確立するための拠点として、さらに効果的に運営することができます。

DELOのマネージングディレクター、Robert Saller氏は次のように述べています。「EVGとDELOは、それぞれWLOおよびNIL装置、光学材料の技術・マーケットリーダーとして知られており、その技術とプロセスを量産製造に適用した実績を持っています。我々はともに、ウェーハレベルのプロセス技術を光学およびフォトニクス製造に適用する独自のノウハウを提供できるため、EVGは当社の最先端製品の開発における理想的なパートナーとなります。 この提携は、アプリケーションの専門家として、そして貴重なパートナーとしてお客様にサービスを提供する際に、お互いにとっての助けとなるでしょう。」

ウェーハレベル・オプティクス向けアプリケーションおよびソリューション

EVGのWLO製造ソリューションにより、モバイル家電製品向けの様々な最新光学センシングデバイスが可能になります。 主な例としては、3Dセンシング、ToF、ストラクチャード・ライト、生体認証、顔認証、虹彩スキャン、光学指紋、スペクトルセンシング、環境センシング、赤外線イメージングなどがあります。 その他のアプリケーションには、車載照明、ライトカーペット、ヘッドアップディスプレイ、車内センシング、LiDARのほか、内視鏡カメラ、眼科用アプリケーション、外科用ロボット向けの医療用画像が挙げられます。 EVGのWLOソリューションは、同社のNILPhotonics®コンピテンスセンターにて利用可能です。 EVGのWLOソリューションの詳細については、下記をご参照ください。　https://www.evgroup.com/technologies/wafer-level-optics/

DELOの革新的な多機能材料は、世界中のほぼすべてのスマートフォンに搭載されています。 同社の高機能接着剤は、機能性と信頼性に優れています。 顧客の特定のニーズに応じた特性の追加により、これらのポリマー材料は、小さな素子を接合するような、ショートサイクルタイムでの産業環境に最適です。 さらに、DELOの UV-LED硬化装置とディスペンシングバルブは、優れた信頼性を提供します。 詳細については下記をご参照ください。 https://www.delo-adhesives.com/en/

EVGはSEMICON Europaへ出展いたします

EVGは、SEMICON Europaにて、レンズ成形およびレンズ積層、SmartNIL®等の一連のWLO製造ソリューションを、ウェーハ接合、リソグラフィ、レジストプロセスソリューションとともに展示します。 さらに詳しい情報を希望される方は、是非弊社ブース＃B1630にお越しください。

DELOについて

DELOは、ドイツのミュンヘンに近いウィンダッハに本社を置き、米国、中国、シンガポール、および日本に子会社を持つ産業用接着剤の大手メーカーです。780人の従業員を有し、2019会計年度には1億5,600万ユーロの売り上げを達成しました。 DELOの製品は、自動車、家電、産業用電子機器の分野において世界中で使用されており、ほぼすべてのスマートフォンと、世界の道路を走る車の半分以上に搭載されています。 DELOの顧客には、ボッシュ、ダイムラー、ファーウェイ、オスラム、シーメンス、ソニー等があります。 DELOの詳細については、https：//www.delo-adhesives.com/en/ をご覧ください。

EV GROUP（EVG）について

EV Group（EVG）は半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品には、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ/ナノインプリントリソグラフィ（NIL）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。1980年に設立されたEVGは、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。 EVGに関する詳しい情報はwww.EVGroup.comをご参照ください。

プレスの方の問い合わせ先:

イーヴィグループジャパン株式会社　マーケティング担当

TEL: 045-348-0665　E-mail: Marketing+CommunicationsJapan@EVGroup.com