EV GroupとSCHOTTが提携を発表 拡張/複合現実用グラス量産製造向けに300mmナノインプリント・リソグラフィ技術を開発

ST. FLORIAN, Austria, August 28, 2019—ウェーハ接合およびリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーであるEV Group（本社: オーストリア ザンクト・フローリアン、以下: EVG）は、本日、特殊ガラスおよびガラスセラミックスの分野で世界をリードする技術グループの1つであるSCHOTTと提携し、次世代AR/MRヘッドセット用導波路/ライトガイドの製造に使用される高屈折率（HRI）ガラスウェーハへの大量パターニングのための300mm（12インチ）ナノインプリント・リソグラフィ（NIL）技術を開発したことを発表しました。

SCHOTT RealView™高屈折率ガラスウェーハとEVG独自のSmartNIL®プロセスを用いるこの共同開発は、オーストリアのEVG本社にあるNILPhotonics®コンピテンスセンターで行われています。EVGのSmartNIL®テクノロジーでナノインプリントされた300 mmの SCHOTT RealView™ガラスウェーハは、9月4〜7日に深センコンベンションセンターで開催される中国国際光電子博覧会（CIOE）のSCHOTTブースで展示されます。

「今日の、そして将来のAR/MRデバイスの需要増加に対応し、お客様が求める生産量を達成するには、300mmの高屈折率ガラスウェーハ製造が必須となります。」と、SCHOTT 拡張現実部門の部門長であるDr. Ruediger Sprengard 氏は述べています。「この共同作業により、EVGとSCHOTTは、300mm 高屈折率ガラス製造のための設備およびサプライチェーンの準備が整っていることを実証します。」

これまで、フォトニクス向けの構造をNIL技術を用いてガラス基板にパターニングするのは、200 mmまでが限界とされてきました。300mmウェーハプロセスへの移行は、AR/MRヘッドセットを一般に普及させるための重要な一歩となります。大口径基板において、高い基板品質とプロセス均一性を保つことは非常に難しく、高度なプロセスの自動化と制御機能が必要です。EVGは、ナノパターニングの要求に対応するため、長年に渡り研究・開発・現場での実証経験を積み重ねてきました。その集大成であるEVGのSmartNIL®技術は、ダイレベルのサンプルサイズから大面積基板まで対応する、卓越した拡張性を有していることが実証されています。昨年6月、EVGはHERCULES®NIL 300 mmをリリースしました。これによりSmartNIL®技術の300mmウェーハへの適用が実現し、AR/MR/VRヘッドセット向け光学デバイス、3Dセンサー、バイオメディカルデバイス、ナノフォトニクス、プラズモニクス等、様々なデバイスおよびアプリケーションの生産ニーズへの対応が可能となります。

「EVG は、2014年にNILPhotonics®コンピテンスセンターを設立し、NIL関連の様々なサプライチェーンパートナー企業様にオープンアクセスイノベーションの場を提供しています。EVGの技術の導入により、革新的なフォトニックデバイスやアプリケーションの開発をサポートし、市場投入までの時間を短縮します。」EV Group の知的財産・技術開発本部のディレクターを務めるMarkus Wimplinger氏はこのように述べています。「SCHOTTのような企業と提携し、新たな技術やプロセスの開発のみならず、一般市場への商品導入を加速させるという点でもEVGのNIL

ソリューションの重要性を実証できることに、大変興奮しています。 SCHOTTと共に行っているこの作業は、NIL装置およびプロセスの成熟を証明し、新たに開発される様々なフォトニクス製品およびアプリケーション向けの300 mmウェーハプロセスの基礎を築くことになるでしょう。」

SCHOTT RealView™高屈折率ガラスウェーハは、AR/MRデバイスの主要コンポーネントであり、量産対応が可能です。 製品ポートフォリオは最大1.9の屈折率を提供し、最大65度というより広い視野をもたらすことで、没入感のあるAR/MRアプリケーションを可能にします。SCHOTTは、ARハードウェアメーカーとの長年の研究開発を経て、2018年に第1世代のSCHOTT RealView™を発表しました。このハイエンド製品は市場投入のわずか1年後である2019年に、名誉あるSID Display Industry Awardを受賞しています。

EVGの高屈折ガラスおよびレジスト向けSmartNIL®技術の詳細は、下記White Paperをご参照ください
https://www.evgroup.com/fileadmin/media/products/NIL/SmartNIL_with_High_Refractive_Index_White_Pap        er.pdf

SCHOTTについて
Schottは、特殊ガラス、ガラスセラミックス、および関連素材の分野で世界をリードする技術グループです。 130年以上の経験を持つ同社は、家電、製薬、エレクトロニクス、光学、ライフサイエンス、自動車、航空等、多くの業界における革新的なパートナーであり、34か国に生産拠点と営業所を有しています。 2017/2018会計年度にグループの売上高は25.8億ユーロを計上し、従業員数は15,500人を超えました。 SCHOTT AGの本社はマインツ（ドイツ）にあり、ドイツで最も古い民間財団かつ最大の科学振興財団の1つであるカールツァイス財団が所有しています。 財団企業として、ショットは従業員、社会、環境に対して特別な責任を負っています。

EV GROUP（EVG）について
EV Group（EVG）は半導体、MEMS、化合物半導体、パワーデバイスおよびナノテクノロジーデバイスの製造装置およびプロセスソリューションのリーディングサプライヤーです。主要製品には、ウェーハ接合、薄ウェーハプロセス、リソグラフィ/ナノインプリントリソグラフィ（NIL）や計測機器だけでなく、フォトレジストコーター、クリーナー、検査装置などがあります。1980年に設立されたEVGは、グローバルなお客様および世界中のパートナーに対し緻密なネットワークでサービスとサポートを提供します。 EVGに関する詳しい情報はwww.EVGroup.comをご参照ください。

プレスの方の問い合わせ先:
イーヴィグループジャパン株式会社　マーケティング担当
TEL: 045-348-0665　E-mail: Marketing+CommunicationsJapan@EVGroup.com