リソグラフィ・トラックシステム
マスクアライメント・露光など高次元の前処理・後処理を一括して自動で行える完全統合型製造装置であるトラッキングシステムは、EVGリソグラフィ技術の集大成であると言えます。HERCULESリソグラフィ・トラックシステムは、洗浄、レジスト塗布、ベーク、そしてレジスト現像用のモジュールをEVGの確立された光学マスクアライメント技術で結集したモジュール型プラットフォームに基づく統合型装置です。これらのインテグレーションによって、HERCULESは「ワンストップショップ」となり、前処理から後処理まで完全に自動で行うことができるようになりました。
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