GEMINI^® FB

一括式D2W（Co-D2W）によるハイブリッドD2W接合は、ヘテロ集積化を可能にする有望な手段です。一括式D2W接合では、個片化したダイをターゲットウェーハ上に一括移送し接合を行います。一括式D2W接合プロセスの製造フローは、キャリアの準備、キャリアへのダイ配置、ウェーハ接合、そしてキャリア剥離の4つの主要なセグメントで構成されています。D2W接合に対応したEVG Gemini FBでは、一つの装置で効率的なダイ洗浄と再構成キャリアによるダイ・トランスファー、接合とキャリア剥離を行うことができるため、Co-D2W統合フローの中でも非常に重要な装置となります。Gemini FBは、ウェーハ・トゥ・ウェーハだけでなく、Co-D2Wフュージョン/ハイブリッド接合にも対応する業界標準のシステムとして地位を確立しています。